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掃描電鏡高溫力學原位系統(tǒng)通過MEMS芯片在原位樣品臺內構建力、熱復合多場自動控制及反 饋測量系統(tǒng)，結合EDS、EBSD等多種不同模式，實現(xiàn)從納米層面實 時、動態(tài)監(jiān)測樣品在真空環(huán)境下隨溫度、施加力變化產(chǎn)生的微觀結構 演化、相變、元素價態(tài)、微觀應力以及表/界面處的結構和成分演化等 關鍵信息。
