掃描電鏡高溫原位系統(tǒng)通過MEMS芯片對樣品施加熱場控制，在原位樣品臺內(nèi)構(gòu)建熱場自動控制及反饋測量系統(tǒng)，結(jié)合EDS、EBSD等多種不同模式，實現(xiàn)從納米甚至原子層面實時、動態(tài)監(jiān)測樣品在真空環(huán)境下隨溫度變化產(chǎn)生的微觀結(jié)構(gòu)、相變、元素價態(tài)、微觀應(yīng)力以及表/界面處的原子級結(jié)構(gòu)和成分演化等關(guān)鍵信息。

　　應(yīng)用：

　　1、材料科學(xué)研究：用于研究材料在高溫下的力學(xué)性能、變形、斷裂等失效機制的微觀過程，為新材料的設(shè)計和優(yōu)化提供重要支持。

　　2、工程材料設(shè)計：通過實時觀察材料在不同應(yīng)力條件下的微觀結(jié)構(gòu)和變化過程，為工程材料的疲勞壽命預(yù)測和性能提升提供依據(jù)。

　　3、納米材料研究：結(jié)合納米力學(xué)測試技術(shù)，實時觀察納米材料的變形和斷裂行為，揭示其特殊的力學(xué)特性。

　　4、材料相變與晶體生長：通過加熱或冷卻不同材料，實時觀察材料的相變過程和晶體生長機制，有助于對材料結(jié)構(gòu)與性能的影響進(jìn)行深入了解。

　　掃描電鏡高溫原位系統(tǒng)是應(yīng)用廣泛的科研儀器，在材料科學(xué)研究、工程材料設(shè)計等領(lǐng)域發(fā)揮著重要作用。